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[NETZSCH]奈米鍍層熱傳量測儀
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2017年3月8日
德國NETZSCH 奈米鍍層熱傳量測儀
德國NETZSCH 奈米鍍層熱傳量測儀
日本產業技術綜合研究所開發,採用高速雷射量測,最薄可量測至10nm鍍層,為奈米鍍層熱擴散最佳分析利器
採用皮、奈秒雷射thermoreflectance量測原理,突破雷射閃光法熱擴散量測限制
傳統閃光法使用IR偵測器,無法記錄足夠微小及快速的溫度變化訊號,因而無法量測太薄的樣品。thermoreflectance法則使用奈秒或皮秒雷射進行量測,雷射在樣品表面反射後,會隨樣品表面溫度變化而改變反射的強度,因而可用來快速記錄樣品表面極小與極快的溫度變化
內建兩種量測模式,可依底材特性選擇
RF法:與laser flash閃光法量測方式相同,適於透光底材的鍍層量測。RF法為由底材端施以一脈衝雷射對鍍層加熱,並從鍍層端以奈秒或皮秒雷射測量鍍層表面的溫度變化
FF法:適於不透光底材鍍層測量。由鍍層表面施以一脈衝雷射加熱,並對同一位置以奈秒或皮秒雷射量測鍍層表面的溫度變化
NanoTR 奈秒雷射熱擴散量測儀
1. 適用鍍層厚度
RF法
金屬鍍層:1 ~ 20um
陶瓷鍍層:300nm ~ 5um
有機材鍍層:30nm ~ 2um
FF法
鍍層厚度需大於1um
2. 量測時間:小於60秒
3. 樣品大小:10x10 ~ 20x20mm,總厚度需小於1mm
PicoTR皮秒雷射熱擴散量測儀
1. 適用鍍層厚度
RF法
金屬鍍層:100 ~ 900nm
陶瓷鍍層:10nm ~ 300nm
有機材鍍層:10nm ~ 100nm
FF法
鍍層厚度需大於100nm
2. 量測時間:小於5分鐘
3. 樣品大小:10x10 ~ 20x20mm,總厚度需小於1mm
量測原理論文
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